Significado | Concepto | Definición:

Un evaporador de película fina es una máquina que se utiliza para crear una película fina. Al evaporar o sublimar varios elementos, un evaporador de película delgada puede depositar capas extremadamente delgadas de átomos o moléculas sobre un material de sustrato . La máquina consta de una cámara de vacío, un elemento calefactor y un aparato que sostiene y mueve un sustrato mientras se deposita una fina película sobre él.

Hombre con un taladro

Hay dos tipos principales de evaporación que se pueden utilizar para crear una película delgada. Estos son la evaporación resistiva y la evaporación por haz de electrones. En ambas técnicas, un material objetivo se calienta en un evaporador de película delgada hasta que se evapora o sublima. Como gas, el material objetivo se mueve a través de una cámara de vacío hasta que aterriza en un sustrato y forma una película delgada. Ambas técnicas requieren que los materiales objetivo sean tan estables como un gas.

En la evaporación resistiva, se pasa una corriente eléctrica a través de un material objetivo, que se calienta a medida que se energiza. Con suficiente calor, el material objetivo se evapora o sublima. El oro y el aluminio son materiales objetivo comunes que se pueden evaporar en forma de alambres metálicos, llamados filamentos. Los materiales de destino en forma de filamentos son difíciles de cargar en un evaporador y solo se pueden trabajar en pequeñas cantidades. Un evaporador de película delgada también puede usar láminas delgadas de un material objetivo, que a menudo son más fáciles de trabajar y producen más materia cuando se evaporan.

Algunos materiales objetivo no son adecuados para la evaporación resistiva porque pueden arrojar grandes secciones de materia sólida durante el proceso. Si estos sólidos chocan con la fina película que se forma sobre el sustrato, pueden arruinarlo. La evaporación de estos materiales requiere el uso de una fuente de calor cerrada que permita que la forma gaseosa del material escape a través de pequeños orificios mientras atrapa secciones de materia sólida dentro de la cámara de calentamiento.

La evaporación del haz de electrones calienta el material objetivo al dirigir un haz de electrones de alta energía hacia él. En este tipo de evaporador de película fina, el material objetivo se mantiene en un hogar enfriado mientras se bombardea con electrones y se calienta. Este proceso es útil para materiales objetivo con una temperatura de evaporación muy alta porque el haz de energía enfocado puede calentar el material objetivo sin calentar todo el aparato. El recipiente que contiene el material objetivo no está expuesto a un calor extremo, por lo que no se derrite ni se evapora durante el proceso. Este tipo de evaporación de película delgada requiere un equipo específico y puede ser bastante costoso.